2010版GMP规定洁净室洁净度各级别－悬浮粒子数
洁净度级别 |
悬浮粒子最大允许数/立方米 |
|||
静态 |
动态 |
|||
≥0.5µm |
≥5.0µm |
≥0.5µm |
≥5.0µm |
|
A级 |
3520 |
20 |
3520 |
20 |
B级 |
3520 |
29 |
352000 |
2900 |
C级 |
352000 |
2900 |
3520000 |
29000 |
D级 |
3520000 |
29000 |
不作规定 |
不作规定 |
美国联邦标准
洁净度级别 |
粒 径 Particles Size (µm) |
||||
0.1µm |
0.2µm |
0.3µm |
0.5µm |
5.0µm |
|
1 |
35.0个/ft3 |
7.50个/ft3 |
3.00个/ft3 |
1个/ft3 |
|
10 |
350个/ft3 |
75个/ft3 |
30.0个/ft3 |
10个/ft3 |
|
100 |
- |
750个/ft3 |
300个/ft3 |
100个/ft3 |
|
1000 |
- |
－ |
－ |
1000个/ft3 |
7.00个/ft3 |
10000 |
- |
－ |
－ |
10000个/ft3 |
70.3个/ft3 |
100000 |
- |
－ |
－ |
100000个/ft3 |
700个/ft3 |
ISO14644国际净化标准
ISO |
粒 径 Particles Size (µm) |
|||||
0.1µm |
0.2µm |
0.3µm |
0.5µm |
1.0µm |
5.0µm |
|
ISO Class1 |
10个/m3 |
2个/m3 |
|
|
||
ISO Class2 |
100个/m3 |
24个/m3 |
10个/m3 |
4个/m3 |
|
|
ISO Class3 |
1000个/m3 |
237个/m3 |
102个/m3 |
35个/m3 |
8个/m3 |
|
ISO Class4 |
10000个/m3 |
2370个/m3 |
1020个/m3 |
352个/m3 |
83个/m3 |
|
ISO Class5 |
100000个/m3 |
23700个/m3 |
10200个/m3 |
3520个/m3 |
832个/m3 |
29个/m3 |
ISO Class6 |
1000000个/m3 |
23700个/m3 |
102000个/m3 |
35200个/m3 |
8320个/m3 |
293个/m3 |
ISO Class7 |
－ |
－ |
－ |
352000个/m3 |
83200个/m3 |
2930个/m3 |
ISO Class8 |
－ |
－ |
－ |
3520000个/m3 |
832000个/m3 |
29300个/m3 |
ISO Class9 |
－ |
－ |
－ |
35200000个/m3 |
8320000个/m3 |
293000个/m3 |